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真空泵在真空鍍膜機中主要起到抽真空的作用，這是因為在進行真空鍍膜的時候，薄膜材料要先蒸發成為原子或分子，然后以較大的自由程作直線運動，碰撞基片表面而凝結，形成一層薄膜。
如果鍍膜室里面殘余的氣態分子過多，那么就會和蒸發材料的原子或分子發生頻繁的碰撞，影響蒸發材料的原子或分子到達基片，形成薄膜。
還有殘余氣態分子過多的話，可能會導致薄膜的純凈度和牢固度下降，同時導致蒸發材料容易被氧化而產生雜質。
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