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真空閥在真空鍍膜機中的作用
發布時間:2014-08-09 瀏覽:  次

  1.開關氣路,當閥1和閥4關閉,閥2打開時,機械真空泵Ⅲ對容器I抽真空,氣流流經預真空抽氣管路;當閥2關閉,閥4打開時,機械泵可單獨對擴散泵抽真空;當閥1和閥4同時打開時,擴散泵和機械泵可同時工作,對容器進行抽空,此時氣流流經擴散泵。可見,閥門在這種操作中的作用是開關氣路,改變氣流的流經路線。

  2.控制氣流大小,調節真空度在圖1中,調節閥1的閥蓋開啟角度,即可調節流經管路的氣流量大小;關閉閥2和閥4,通過放氣閥3可以給機械泵Ⅲ的入口放成大氣;通過放氣閥5可以調節容器內的真空度。

  3.定量充氣,在玻璃閥的柱塞上有個一定體積的小洞,當小洞轉向右邊和高壓氣瓶連通時,小洞中就可充滿高壓氣體;當它轉向左邊和真空容器連通時,就把該體積的高壓氣體放進容器中去,這樣就起到了定量充氣的作用。

  真空閥門的種類繁多,通常按閥門的職能、結構型式、驅動方式、材料和用途進行分類。

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