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| 真空行業的主要設備有哪些？ |
| 發布時間：2014-08-19 瀏覽： 次 |
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主要從真空產品概況和特點以及真空產品的區域性兩方面來進行概述。其中招安傳統劃分方式真空設備又或劃分為四大類即：1.真空獲得設備、2.真空應用設備、3.真空測量儀表、4.真空配件。 一、真空產品概況和特點 按照傳統的劃分方式，真空設備可分為四大類： 1.真空獲得設備 真空獲得設備主要包括：旋片真空泵、滑閥真空泵、羅茨真空泵、蒸汽流真空泵、往復真空泵、液環真空泵、水噴射泵、水蒸氣噴射泵、分子泵、低溫泵、離子泵、干泵等等。其中又以旋片真空泵、滑閥真空泵、羅茨真空泵、蒸汽流真空泵、往復真空泵、液環真空泵這六種產品產量最大。 (1)旋片真空泵 按照我國產品的規格系列分類，旋片真空泵可以分為直聯泵和皮帶泵。直聯泵由泵軸和電機直接聯接而得名，其主要特點是體積小，轉速高。目前國內市場該泵的規格有2XZ -0.25、2XZ -0. 5、2XZ -1、2XZ -2、2XZ -4、2XZ -8。由于直聯泵轉速較高，一般達到1 400轉/分，因此對旋片材料、密封件等要求高，因此一般國內產品最大做到2XZ -8，再大規格的泵生產廠應客戶的特殊要求安排生產。該泵主要用于空調、電冰箱、醫療器械、科學儀器等行業。 皮帶泵也是通常所說的普速泵，轉速一般在400～500轉/分，體積比直聯泵大出1/3左右。該泵的特點是運行可靠。目前產品規格有2X -0.5、2X -1、2X -2、2X -4、2X -8、2X -15、2X -30、2X -70。該泵除了可單獨使用外，主要與其他泵組成機組用于機械、化工、冶金、包裝、造紙等各行各業。 旋片真空泵還可以按照結構分為單級和雙級，其主要區別在于所得到的極限壓力不同。 (2)羅茨真空泵 羅茨真空泵主要分為普通型和帶旁通閥型羅茨泵。普通型羅茨泵的規格型號為ZJ - 30、ZL -70、ZJ -150、ZJ - 300、ZJ - 600、ZJ - 1200、ZJ - 2000、ZJ - 2500、ZJ - 5000等。如用戶有要求，可做到20 000 L/S(即ZJ - 20000)以上。帶旁通閥型羅茨泵的規格型號為ZJP - 30、ZLP - 70、ZJP - 150、ZJP -300、ZJP - 600、ZJP - 1200、ZJP - 2000、ZJP - 2500、ZJP - 5000等。 帶旁通閥羅茨泵由于在進出口之間安裝了旁通閥，當進出口壓差過大時，旁通閥自動打開，起到過載保護作用，因此該產品受到用戶青睞。 此外，還有直排大氣羅茨泵、氣冷羅茨泵、水封羅茨泵等等。 除了直排大氣羅茨泵，大多數羅茨泵不能單獨使用，要與其他真空泵組成機組，才能正常工作。 該泵的特點是啟動快，抽氣量大，抽氣時間短，在冶金、化工、造紙等行業很受歡迎。 (3)滑閥真空泵 滑閥真空泵可分為單級和雙級兩種類型。單級滑閥泵的極限壓力一般為1 Pa左右，其規格型號有H-7、H-8、H -25、H - 70、H - 150、H - 300、H - 600等。雙級滑閥泵的極限壓力可達到0. 06 Pa，規格有2H -8、2H -15、2H -30、2H -70等。 滑閥真空泵可以單獨使用，但多數情況下與其他真空泵組成機組而廣泛用于冶金、化工、電工等行業。其特點是抽氣量大，運行可靠，可抽出少量可凝性氣體。 (4)油擴散泵 一迪莖散泵是蒸氣流真空泵中的一種-Q該泵與以上三種泵的抽氣機制不同。它是利用蒸氣流作用產生壓強差，使氣體向蒸氣流中擴散，再經壓縮到泵的出口，由前級泵排除。 油擴散泵可分為兩個系列，直筒型和凸腔型。直筒型的規格有K - 100、K -160、、K - 200、K- 300、K - 400、K - 600、K - 800、K - 1000、K - 1200等。凸腔型的規格有KT - 150、KT - 200、KT - 300、KT - 320、KT - 400、KT - 500、KT - 600、KT - 800、KT - 1000等。 由于凸腔泵的腔體外凸增大，因此抽速比直筒泵高出30%左右。油擴散泵與羅茨泵、旋片泵等組成機組，用于機械、冶金、薄膜等行業。其特點是極限壓力高，可達到1 × 10-5 Pa，沒有機械運動，可靠性好。 國產油擴散泵都存在一定的返油，易造成油污染，因此限定了它的使用條件。 (5)液環真空泵 水環真空泵是液環真空泵中的一種。它以水為介質達到真空目的。水環真空泵的型號規格很多，有SK單級水環泵系列，2SK雙級水環泵系列，2BEI水環泵系列等等。 該泵的特點是抽氣量大、無油污染，可抽出潮濕氣體?？梢詥为毷褂?，也可以組成機組。水環真空泵主要用于化工化學，電站、煤礦等行業。 目前國產水環泵逐漸向大型化發展。我國生產的世界上最大的800 m3/min水環泵目前已經用于煤礦的安全生產。 (6)分子泵和干泵 分子泵在國外是高真空領域的主泵，，主要用于半導體、薄膜工業等。2006年之后我國對分子泵的需求呈爆發式增長。 干泵是應半導體、薄膜等產業的迅速發展應運而生。 該泵可作為分子泵的前級泵，從而實現全無油高真空系統。干泵在國內剛剛起步。目前有爪型泵、葉片泵、往復活塞泵、螺桿泵等等。 (7)水噴射泵和水蒸氣噴射泵 水噴射泵是一種以水作為動力及抽氣介質的泵，分為單噴嘴和多噴嘴。 水蒸氣噴射泵由泵體和冷凝器兩部分組成，以水蒸氣作為動力及抽氣介質的泵，分單級和多級。水噴射泵和水蒸氣噴射泵主要用于鋼鐵的爐外精煉。 還可用于制藥、農藥、食品、油脂、制革、環保、印染等行業。適用于蒸餾、濃縮、過濾、結晶、吸收、除氧、除臭、脫氣、三廢處理等等工藝。 (8)低溫泵 低溫泵是用低溫抽氣獲得高真空或超高真空的方法，是隨著低溫技術發展而發展起來的。主要用于半導體，特別是大規模集成電路、表面物理和薄膜等領域。 國外產品80%以上用于半導體。我國低溫泵的研制起始于20世紀70年代，到目前仍然沒有批量生產的能力，且品種單一，沒有形成系列。 2.真空應用設備 (l)真空鍍膜設備 按照薄膜原理劃分，可以分為濺射鍍膜、離子鍍膜、蒸發鍍膜和化學氣相沉積鍍膜。按照使用對象可以分為光學鍍膜、卷繞鍍膜、裝飾鍍膜、太陽能集熱管鍍膜、刀具鍍膜、建筑鍍膜、導電鍍膜等等。 a.蒸發鍍膜設備 蒸發鍍膜設備在我國所有鍍膜設備中是最先開發成功的鍍膜設備，20世紀50年代我國就已經研制成功，蒸發鍍膜設備的品種繁多，有用于鍍制光學薄膜的光學鍍膜設備，主要用于光學器件，激光器件以及微電子器件等，還有采用蒸發鍍膜原理制造的卷繞鍍膜設備，用于裝飾裝潢、電子器件包裝等各行各業。 b.濺射鍍膜設備 離子靶材，使其被濺射出來沉積到基片上形成薄膜。濺射鍍膜設備可鍍制ITO導電膜、介質膜、半導體膜、金屬膜、磁性膜、高溫超導膜、單晶膜、裝飾膜等多種薄膜，如用于電子行業大規模集成電路和光盤、磁盤薄膜的鍍制。 用于建筑行業的幕墻玻璃薄膜，電子行業的電容器薄膜，航空航天器中的固體潤滑膜，能源方面的太陽能電池，以及氣體、包裝、紅外技術等多個行業。 c.離子鍍膜設備 離子鍍膜設備可分為電弧離子鍍膜、射頻放電離子鍍膜、空心陰極離子鍍等等，離子鍍由其鍍膜原理決定了其沉積速度快，鍍層質密，膜層附著性好等特點。被廣泛用于工具、模具等行業，可鍍制金屬膜、硬膜、仿金膜等等。 d.化學氣相沉積設備 化學氣相沉積設備是以化學反應的方法制膜，可用于鍍制表面保護膜以及半導體和電子材料。 e.離子束刻蝕設備 刻蝕作為半導體工業中的超精細加工技術，隨著大規模集成電路的集成度的增加而成為不可缺少的重要設備。 離子束刻蝕技術與其他化學腐蝕、等離子體濺射等技術相比，對加工材料沒有選擇性、可以進行超微細加工，能夠刻蝕非常精細的溝槽，刻蝕的圖形邊緣清晰，精確度高。 離子束刻蝕設備可分為立式和臥式，國產設備真空系統主要以油擴散泵加水冷擋板為主，國外較多采用低溫泵抽氣系統。 (2)真空爐 真空爐在我國的發展起始于20世紀50年代末。第一臺10公斤真空感應爐于1958年開始在沈陽研制，1960年通過鑒定。 目前我國生產的真空爐品種繁多，大致可分為冶金爐和熱處理爐。 其中冶金爐有：真空電阻爐、真空燒結爐、真空電弧爐、真空感應爐、單晶爐以及真空釬焊設備等; 真空熱處理爐包括：真空淬火爐、回火爐、退火爐、滲碳爐、輝光離子氮化爐等。 a.真空電阻爐 真空電阻爐是在真空條件下，利用電阻來加熱工件或材料。主要用于活潑、難溶金屬或某些磁性合金退火和真空除氣。 電阻爐的種類有很多，按照不同的方式可分為立式、臥式、內熱式、外熱式等等。 b.真空燒結爐 真空燒結爐主要用于硬質合金、陶瓷材料、磁性材料、稀有難熔材料、金屬粉末制品、光電元件等材料的燒結處理。 對于燒結處理的材料不同，真空燒結爐的種類有可達2 000℃以上的高溫燒結爐和真空度較高的高真空燒結爐。 c.真空電弧爐 真空電弧爐是利用弧光放電產生的電弧使工件或材料執熔?？捎糜谌蹕鍟阢~ 法滁金屬銑鋯和難溶金屬。真空電弧爐的種類可以分為自耗爐、非自耗爐及凝殼爐等等。 d.真空感應爐 真空感應爐是利用電磁感應的方法將爐內的坩堝加熱，在真空狀態下進行金屬和合金的熔煉。可對精密合金、磁性材料、活性金屬和難溶金屬進行熔煉。 e.真空釬焊設備 真空釬焊是指在真空條件下不需要焊劑進行釬焊的方法。主要用于不銹鋼、高溫合金、硬質合金，有色金屬，特別是含鋁、鈦較高的耐熱合金的釬焊，同時也適用于一些鋯、鈮等難溶金屬的焊接。 真空釬焊對比于普通釬焊優點十分明顯，如無污染、焊接變形小，焊縫質量高，沒有焊劑對材料的腐蝕，沒有氣孔和夾渣，高效節能等等。其中的真空鋁釬焊設備主要用于鋁制板翅式熱交換器、汽車散熱器、空調蒸發器、冷凝器、雷達天線及電子通訊部件的鋁釬焊。 真空釬焊設備的種類可以分為單室、雙室或立式、臥式、無氣淬、有氣淬、冷壁、熱壁等等。由于我國汽車工業的飛速發展，近幾年對真空釬焊設備的需求出現了較大的增長。 f.真空熱處理爐 真空熱處理是指在真空條件下對金屬材料進行的退火、回火、氣淬、消除應力、時效、滲碳、氮化等處理。 在真空環境下對金屬進行熱處理有許多獨特的優點，比如熱處理后的零件表面十分光亮，同時無公害、安全、節能、增加材料的壽命、變形小，并減少了許多后續工作等等。 (3)其他真空應用設備 除了以上提到的應用比較廣泛的真空應用設備-真空鍍膜機、真空爐外，真空應用設備的種類還很多。 如：真空提純、真空蒸餾、真空干燥、真空浸漬、真空澆注、真空運輸、宇航模擬設備等等。 以及近些年興起的真空食品包裝、真空冷凍干燥、真空醫療設備、太陽能集熱設備等等。 3.真空測量儀表 壓力測量儀表--熱偶真空計、電阻真空計、復合真空計等。 流量測量儀表--質量流量計、浮子流量計、滴管流量計等。 檢漏儀器--氦質譜檢漏儀、火花檢漏儀、鹵素檢漏儀等。 4.真空配件 真空閥門--擋板閥、插板閥、翻板閥、電磁閥、壓差閥、隔膜閥、球閥、微調閥等。 真空泵油--機械泵油、擴散泵油、硅油、真空脂等。 真空管路配件--波紋管、法蘭、密封圈等。 二、真空產品的區域性 國內真空設備生產帶有明顯的區域性，一個地區聚起大大小小的生產同類產品的企業，久而久之即形成了產品區域性分類，且越來越分明。 例如我國的浙江地區主要以生產滑閥泵、羅茨泵和小型直聯旋片泵為主，這/地區以生產上述三類產品為主，形成的企業群已從原來的十幾家發展到四十家，并仍在繼續壯大。 目前我國70%(包括上海)的滑閥泵和羅茨泵，80%的小型直聯泵出自這一地區;山東淄博地區主要以水環真空泵為主，大大小小的企業有30家之多，是我國水環真空泵生產最為集中的產地，真空行業三家水環泵年產值過億元的企業，有兩家在這—地區。 遼沈地區集中了油擴散泵和各種真空爐的生產企業，據統計也達四五十家，其中國內油擴散泵產量80%出自這一地區。 真空鍍膜設備的生產相對比較分散，但是值得注意的是廣東地區雖然沒有較大的生產企業，但是小企業也成聚集之勢，此外我國的西南、西北和上海地區近幾年鍍膜設備發展勢頭非常看好，我國的較高水平鍍膜機多出自這些地區。 真空爐的生產主要以遼寧和北京地區為主。遼寧地區是我國最早生產真空爐的地區，直到現在這兩個地區也是我國真空爐最集中、最重要的生產基地。 以上就是愛加真空技術人員整理的關于真空行業主要設備的分類，希望能夠幫到各位! 相關閱讀 |
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