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| 電容式真空計作用？ |
| 發(fā)布時間：2014-10-25 瀏覽： 次 |
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電容式隔膜真空計是利用隔膜在氣體分子作用下發(fā)生變形而測量壓強的真空計，其基本原理如圖1所示。 電容式隔膜真空計內(nèi)部有兩個空間，隔膜右側(cè)連接真空，左側(cè)的參照空間可以保持在大氣壓或其他一定的真空度。 如果p2  圖1 電容式隔膜真空計的原理圖 p1 和p2之間的壓強差很小時，隔膜的變形也很小，要精確地測量真空度，需要隔膜更薄?？墒?，如果兩側(cè)壓強差很大，則隔膜可能發(fā)生永久變形甚至破損。 一般情況下，為了防止隔膜過度變形，在電極和隔膜之間施加直流電壓，通過靜電引力使隔膜不發(fā)生變形。 通過測量直流電壓值，即可知壓強，這種真空計被稱為單電容隔膜真空計。 在隔膜兩側(cè)分別設(shè)置電極而實現(xiàn)的差動式雙電容隔膜真空計，進一步提高了測量精度和范圍。 隔膜材料通常使用厚度為幾十微米的因科內(nèi)爾鉻鎳鐵合金(Inconel)。 為避免腐蝕氣體的腐蝕，也有使用陶瓷隔膜的產(chǎn)品。 電容式隔膜真空計測量的真空度與氣體成分無關(guān)，反應(yīng)快、重復(fù)性高，非常適合于氧氣及油蒸氣等特殊環(huán)境的真空測量。 推薦閱讀 |
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