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| 真空設備排氣工藝概述 |
| 發布時間：2014-11-28 瀏覽： 次 |
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要想獲得真空，一般是靠真空系統的抽氣來完成。根據所要求的真空度和清潔度，采用不同的真空系統。一般真空系統按真空區域可分為：低、中真空系統，高真空系統，超高、極高真空系統。 它們由不同的主泵、輔助系及其它相應的真空零(部)件組成。中、低真空系統由機械泵或機械泵加羅茨泵組成，為防止油污染，還可加入分子篩阱，但在操作時要防止分子篩固體顆粒吸入機械泵中。 高真空系統主要由擴散泵、障板、冷阱、插板閥和機械泵等組成，主泵也可用渦輪分子泵或低溫泵。為進一步減少油污染，可用濺射離子泵與鈦升華泵和低溫障板一起構成一臺無油高真空抽氣機組，其前級用吸附泵粗抽。 超高和極高真空系統最重要的標志是清潔度高，只要采用高性能的離子泵、低溫泵、渦輪分子泵和冷阱等，就可實現超高和極高真空。 各種真空系統的啟動、停機、操作過程及產生故障時對污染的防護都有嚴格要求，必須遵守操作規程。 比如，機械泵只能抽15Pa—20Pa或更高的壓力，否則反流污染嚴重;擴散泵在正常工作前和停泵20min內油蒸氣污染很大，故不得與真空室或冷阱相通;停機時冷阱要在與真空室隔離、排除液氮并回溫后方可停止高真空泵;吸附泵應有防壓力爆破裝置，以防回溫后產生事故;要防止分子篩吸附阱中的分子篩及其固體粉末吸入機械泵。 如果真空抽不上去或達不到要求，首先要檢查抽氣裝置工作是否正常，其次檢查是否存在不允許的放氣源。真空零(部)件在裝配之前，必須經嚴格的清潔處理、烘干并檢漏，合格后方可使用。 還應檢查可拆卸部位密封圈是否清潔、良好，密封面是否有劃傷，連接是否緊密等。下面以多層絕熱低溫容器的抽氣技術為例，介紹低溫容器的真空排氣工藝。 高真空多層絕熱又稱超絕熱。它在高真空容器中由多層的高反射率的箔(鋁箔或鍍鋁滌綸薄膜)作反射屏與多層的導熱系數低的材料(玻璃纖維制作的布或紙及尼龍網等)作隔熱物相互疊扎而成。 到目前為止，它仍然具有表觀導熱系數最低、絕熱效果最好及質量輕、所占體積小等優點。這種絕熱在各種低溫恒溫器、低溫貯槽、低溫輸送管道、空間飛行器、致冷器以及導電機和超導電纜等方面獲得越來越廣泛的應用。 鄉層絕熱的最低表觀導熱系數，只有在絕熱層中消除了氣體分子傳熱的情況下才能達到。 在絕熱層內壓力已小于10-2Pa時，再進一步降低壓力對表觀導熱系數沒有明顯影響，因此它要求的工作真空度是10-zPa—l0_ 3Pa。 在多層絕熱的液氦、液氫、液氧、液氮等低溫容器中，要在5年甚至10年的使用期間始終維持10-2Pa—l0-3Pa的高真空，就必須進行徹底抽氣和采用吸氣性能良好的低溫吸附劑(分子篩、活性炭)等一系列技術措施。 為了克服多層絕熱存在的工藝復雜、成本高、制作周期長和工程表觀導熱系數較高等缺點，必須開展有關多層絕熱排氣工藝、層間壓力分布、吸附劑活化工藝和吸附劑吸氣性能測試等研究工作。 推薦閱讀 |
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