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| 真空鍍膜時產品掉膜的原因分析 |
| 發布時間：2017-11-08 瀏覽： 次 |
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真空電鍍時產生掉膜的原因很多也很復雜。處理起來很棘手，可以考慮從以下幾個方面排除： 1、表面清潔度 產品表面潔凈度不夠，可以考慮離子源清洗時氬氣放大、時間長點。 2、清洗過程中的問題 鍍前清洗不到位，或更換了清洗液。 3、工藝的問題 工藝參數是否有變動，在鍍膜時間和電流上做適當調整。 4、靶材的問題 鈦靶是否中毒，檢查和更換。 5、真空腔是否漏氣 進行一次撿漏。 6、產品表面氧化 氧化的原因很多，可以自行判斷處理。 |
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