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　　真空鍍膜的過程中有時會產生噴點及潮斑(花斑)，這些噴點、潮斑(花斑)極大的影響了薄膜的品質，降低產品的合格率。本文將對噴點、潮斑(花斑)的形成原因以及消除方法作一探討。

　　一.噴點形成的原因

　　鍍膜過程中產生噴點主要有以下幾種原因:

　　1.鍍膜材料純度不高，含雜質較多,預熔過程中無法將這些雜質去除,蒸鍍過程中雜質濺上工件表面形成噴點。

　　2.材料較為潮濕,預熔時電子槍光斑不能將表面的材料全部熔化,在蒸鍍過程中也容易產生噴點(這種情況在用國產電子槍鍍制MgF2及一些直接升華的材料時較易發生)。

　　3.鍍膜前對材料進行預熔時不夠充分,蒸鍍過程中材料里的細小顆粒濺上工件表面形成噴點。

　　4.鍍膜過程中,電子槍束流過大引起的材料飛濺產生的噴點。

　　二.潮斑形成的原因:

　　1.清洗液配比不好,含有較多水份,清洗后工件表面留有殘跡,鍍膜后形成花斑。

　　2.鍍制兩個面以上的工件時,一面鍍制完成,清洗第二面時,鍍制完的一面受到污染,在第二面鍍膜后形成花斑。

　　3.工件本身含有的水份(工件白片制作過程細解),在蒸鍍前的烘烤過程中逸出,蒸鍍后形成潮斑。

　　4.鍍膜夾具在烘烤過程中會有水汽以及其它廢氣排出,蒸鍍后在工件表面形成潮斑且對鍍膜后的光學特性產生影響。

　　三. 針對以上噴點、潮斑(花斑)的成因,在生產中采取了以下一些措施以消除噴點、潮斑(花斑):

　　1.選擇可靠的材料供應商,并對購買的每批材料在投入使用前先做一測試,判定材料的可靠性。

　　2.規范材料的領用、保管,(干燥缸,干燥劑)保證材料不受潮,材料性質無變化。

　　3.規范鍍膜操作,嚴格執行預熔、蒸鍍的操作規程。蒸鍍前的材料預熔一定要徹底,鍍制某些較厚的膜層時可以采用多次預熔的方法消除噴點。

　　4.規范清洗操作,加強清洗后的檢查,提高清洗質量,消除因清洗而產生的潮斑(花斑)。

　　5.調整烘烤溫度,消除烘烤原因產生的潮斑。

　　6.規范鍍膜夾具的管理。每次投入使用前,夾具需要先經過清洗、烘烤(300度,3小時以上)才能投入生產。

　　7.設計鍍膜夾具時,盡量采用在真空室內放氣量小的材料,同時可采取夾具表面鍍Ni的方法降低夾具的放氣量,消除由此產生的潮斑(花斑)。

　　通過以上這些措施,鍍膜過程中產生的噴點、潮斑(花斑)可以得到非常有效的控制。

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