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| 真空檢漏的方法有哪些？ |
| 發(fā)布時(shí)間：2024-07-01 瀏覽： 次 |
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氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種，一種為常規(guī)檢漏，另一種為逆擴(kuò)散檢漏。 逆擴(kuò)散原理如圖所示。逆擴(kuò)散檢漏是把被檢件接在分子泵出氣口一端，漏入的氦氣由分子泵出氣口逆著泵的排氣方向進(jìn)入安裝在泵的進(jìn)氣口端的質(zhì)譜管內(nèi)而被檢測(cè)。 這一檢漏方式是基于分子泵對(duì)不同質(zhì)量的氣體具有不同壓縮比(氣體在分子泵出氣口壓強(qiáng)與進(jìn)氣口壓強(qiáng)之比)即利用不同氣體的逆擴(kuò)散程度不同程度而設(shè)計(jì)的。 逆擴(kuò)散方式檢漏允許被檢件內(nèi)壓強(qiáng)較高，SFJ-231/241型氦質(zhì)譜檢漏儀可達(dá)1000Pa(一般常規(guī)檢漏儀為0.05Pa以下)，適合檢大型容器或有大漏的器件，也適合吸槍檢漏。逆擴(kuò)散方式還具有質(zhì)譜管不易受污染，燈絲壽命長等優(yōu)點(diǎn)。 本文由真空鍍膜機(jī)廠家愛加真空收集整理自網(wǎng)絡(luò)，僅供學(xué)習(xí)和分享! |
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