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真空鍍膜設備鍍膜誤差鑒別方法
發布時間:2014-09-23 瀏覽:  次

  真空鍍膜設備光學監控是高精密鍍膜的的首選監控方式之一,精確度的改進源于對光學厚度的監控,是采用間接測控。

  特別適合于各種膜厚的鍍膜監控包括非規整膜監控。

  最直接的控制方法是石英晶體微量平衡法,保持蒸發速率。

  只要將儀器與系統控制軟件相連接,它就可以控制整個的鍍膜過程。但溫度較高時,它會變得對溫度非常敏感。

  在長時間的加熱過程中,很難阻止傳感器跌入這個敏感區域,從而對膜層造成重大誤差。

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