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　　6.1一般術(shù)語

　　6.1.1真空鍍膜vacuum coating在處于真空下的基片上制取膜層的一種方法。

　　6.1.2基片substrate膜層承受體。

　　6.1.3試驗基片testing substrate在鍍膜開始、鍍膜過程中或鍍膜結(jié)束后用作測量和或試驗的基片。

　　6.1.4鍍膜材料coating material用來制取膜層的原材料。

　　6.1.5蒸發(fā)材料evaporation material在真空蒸發(fā)中用來蒸發(fā)的鍍膜材料。

　　6.1.6濺射材料sputtering material有真空濺射中用來濺射的鍍膜材料。

　　6.1.7膜層材料(膜層材質(zhì))film material狀干膜層的材料。

　　6.1.8蒸發(fā)速率evaporation rate在給定時間間隔內(nèi)蒸發(fā)出來的材料量除以該時間間隔

　　6.1.9濺射速率sputtering rate在給定時間間隔內(nèi)濺射出來的材料量除以該時間間隔。

　　6.1.10沉積速率deposition rate在給定時間間隔內(nèi)沉積在基片上的材料量除以該時間間隔和基片表面積。

　　6.1.11鍍膜角度coating angle入射到基片上的粒子方向與被鍍表面法線之間的夾角。

　　6.2工藝

　　6.2.1真空蒸膜vacuum evaporation coating使鍍膜材料蒸發(fā)的真空鍍膜過程。

　　6.2.1.1同時蒸發(fā)simultaneous evaporation用數(shù)個蒸發(fā)器把各種蒸發(fā)材料同時蒸鍍到基片上的真空蒸發(fā)。

　　6.2.1.2蒸發(fā)場蒸發(fā)evaporation field evaporation由蒸發(fā)場同時蒸發(fā)的材料到基片上進行蒸鍍的真空蒸發(fā)(此工藝應用于大面積蒸發(fā)以獲得到理想的膜厚分布)。

　　6.2.1.3反應性真空蒸發(fā)reactive vacuum evaporation通過與氣體反應獲得理想化學成分的膜層材料的真空蒸發(fā)。

　　6.2.1.4蒸發(fā)器中的反應性真空蒸發(fā)reactive vacuum evaporation in evaporator與蒸發(fā)器中各種蒸發(fā)材料反應而獲得理想化學成分膜層材料的真空蒸發(fā)。

　　6.2.1.5直接加熱的蒸發(fā)direct heating evaporation蒸發(fā)材料蒸發(fā)所必須的熱量是對蒸發(fā)材料(在坩堝中或不用坩堝)本身加熱的蒸發(fā)。

　　6.2.1.6感應加熱蒸發(fā)induced heating evaporation蒸發(fā)材料通過感應渦流加熱的蒸發(fā)。

　　6.2.1.7電子束蒸發(fā)electron beam evaporation通過電子轟擊使蒸發(fā)材料加熱的蒸發(fā)。

　　6.2.1.8激光束蒸發(fā)laser beam evaporation通過激光束加熱蒸發(fā)材料的蒸發(fā)。

　　6.2.1.9間接加熱的蒸發(fā)indirect heating evaporation在加熱裝置(例如小舟形蒸發(fā)器坩堝燈絲加熱板加熱棒螺旋線圈等)中使蒸發(fā)材料獲得蒸發(fā)所必須的熱量并通過熱傳導或熱輻射方式傳遞給蒸發(fā)材料的蒸發(fā)。

　　6.2.1.10閃蒸flash evaportion將極少量的蒸發(fā)材料間斷地做瞬時的蒸發(fā)。

　　6.2.2真空濺射vacuum sputtering在真空中惰性氣體離子從靶表面上轟擊出原子分子或原子團的過程。

　　6.2.2.1反應性真空濺射 reactive vacuum sputtering通過與氣體的反應獲得理想化學成分的膜層材料的真空濺射。

　　6.2.2.2 偏壓濺射bias sputtering在濺射過程中將偏壓施加于基片以及膜層的濺射。

　　6.2.2.3 直流二級濺射direct current diode sputtering通過二個電極間的直流電壓使氣體自持放電并把靶作為陰極的濺射。

　　6.2.2.4非對稱性交流濺射asymmtric alternate current sputtering通過二個電極間的非對稱性交流電壓使氣體自持放電并把靶作為吸收較大正離子流的電極。

　　6.2.2.5高頻二極濺射high frequency diode sputtering通過二個電極間的高頻電壓獲得高頻放電而使靶極獲得負電位的濺射。

　　6.2.2.6熱陰極直流濺射三極型濺射hot cathode direct current sputtering借助于熱陰極和陽極獲得非自持氣體放電氣體放電所產(chǎn)生的離子由在陽極和陰極靶之間所施加的電壓加速而轟擊靶的濺射。

　　6.2.2.7 熱陰極高頻濺射三極型濺射hot cathode high frequency sputtering借助于熱陰極和陽極獲得非自持氣體放電氣體放電產(chǎn)生的離子在靶表面負電位的作用下加速而轟擊靶的濺射。

　　6.2.2.8離子束濺射ion beam sputtering利用特別的離子源獲得的離子束使靶的濺射。

　　6.2.2.9輝光放電清洗glow discharge cleaning利用輝光放電原理使基片以及膜層表面經(jīng)受氣體放電轟擊的清洗過程。

　　6.2.3物理氣相沉積PVD physical vapor deposition在真空狀態(tài)下鍍膜材料經(jīng)蒸發(fā)或濺射等物理方法氣化沉積到基片上的一種制取膜層的方法。

　　6.2.4化學氣相沉積CVD chemical vapor deposition一定化學配比的反應氣體在特定激活條件下通常是一定高的溫度通過氣相化學反應生成新的膜層材料沉積到基片上制取膜層的一種方法。

　　6.2.5磁控濺射magnetron sputtering借助于靶表面上形成的正交電磁場把二次電子束縛在靶表面特定區(qū)域來增強電離效率增加離子密度和能量因而可在低電壓大電流取得很高濺射速率。

　　6.2.6 等離子體化學氣相沉積PCVD plasma chemistry vapor deposition通過放電產(chǎn)生的等離子體促進氣相化學反應在低溫下在基片上制取膜層的一種方法。

　　6.2.7空心陰極離子鍍HCD hollow cathode discharge deposition 利用空心陰極發(fā)射大量的電子束使坩堝內(nèi)鍍膜材料蒸發(fā)并電離在基片上的負偏壓作用下離子具有較大能量

　　沉積在基片表面上的一種鍍膜方法。

　　6.2.8電弧離子鍍arc discharge deposition以鍍膜材料作為靶極借助于觸發(fā)裝置使靶表面產(chǎn)生弧光放電鍍膜材料在電弧作用下產(chǎn)生無熔池蒸發(fā)并沉積在基片上的一種鍍膜方法。

　　6.3專用部件

　　6.3.1鍍膜室coating chamber真空鍍膜設(shè)備中實施實際鍍膜過程的部件

　　6.3.2蒸發(fā)器裝置evaporator device真空鍍膜設(shè)備中包括蒸發(fā)器和全部為其工作所需要的裝置(例如電能供應、供料和冷卻裝置等)在內(nèi)的部件。

　　6.3.3蒸發(fā)器evaporator蒸發(fā)直接在其內(nèi)進行蒸發(fā)的裝置例如小舟形蒸發(fā)器坩堝燈絲加熱板加熱棒螺旋線圈等等必要時還包括蒸發(fā)材料本身。

　　6.3.4直接加熱式蒸發(fā)器evaporator by direct heat蒸發(fā)材料本身被加熱的蒸發(fā)器。

　　6.3.5間接加熱式蒸發(fā)器evaporator by indirect heat蒸發(fā)材料通過熱傳導或熱輻射被加熱的蒸發(fā)器。

　　6.3.6蒸發(fā)場evaporation field由數(shù)個排列的蒸發(fā)器加熱相同蒸發(fā)材料形成的場。

　　6.3.7濺射裝置sputtering device包括靶和濺射所必要的輔佐裝置(例如供電裝置氣體導入裝置等)在內(nèi)的真空濺射設(shè)備的部件。

　　6.3.8靶target用粒子轟擊的面。本標準中靶的意義就是濺射裝置中由濺射材料所狀干的電極。

　　6.3.9擋板shutter用來在時間上和(或)空間上限制鍍膜并借此能達到一定膜厚分布的裝置。擋板可以是固定的也可以是活動的。

　　6.3.10時控擋板timing shutter在時間上能用來限制鍍膜因此從鍍膜的開始、中斷到結(jié)束都能按規(guī)定時刻進行的裝置。

　　6.3.11掩膜mask用來遮蓋部分基片在空間上能限制鍍膜的裝置。

　　6.3.12基片支架substrate holder可直接夾持基片的裝置例如夾持裝置框架和類似的夾持器具。

　　6.3.13夾緊裝置clamp在鍍膜設(shè)備中用或不用基片支架支承一個基片或幾個基片的裝置例如夾盤夾鼓球形夾罩夾籃等。夾緊裝置可以是固定的或活動的(旋轉(zhuǎn)架行星齒輪系等)。

　　6.3.14換向裝置reversing device在真空鍍膜設(shè)備中不打開設(shè)備能將基片、試驗玻璃或掩膜放到理想位置上的裝置(基片換向器試驗玻璃換向器掩膜換向器)。

　　6.3.15基片加熱裝置substrate heating device在真空鍍膜設(shè)備中通過加熱能使一個基片或幾個基片達到理想溫度的裝置。

　　6.3.16基片冷卻裝置substrate colding device在真空鍍膜設(shè)備中通過冷卻能使一個基片或幾個基片達到理想溫度的裝置。

　　6.4真空鍍膜設(shè)備

　　6.4.1真空鍍膜設(shè)備vacuum coating plant在真空狀態(tài)下制取膜層的設(shè)備。

　　6.4.1.1真空蒸發(fā)鍍膜設(shè)備vacuum evaporation coating plant借助于蒸發(fā)進行真空鍍膜的設(shè)備。

　　6.4.1.2真空濺射鍍膜設(shè)備vacuum sputtering coating plant借助于真空濺射進行真空鍍膜的設(shè)備。

　　6.4.2連續(xù)鍍膜設(shè)備continuous coating plant被鍍膜物件單件或帶材連續(xù)地從大氣壓經(jīng)過壓力梯段進入到一個或數(shù)個鍍膜室再經(jīng)過相應的壓力梯段繼承離開設(shè)備的連續(xù)式鍍膜設(shè)備。

　　6.4.3半連續(xù)鍍膜設(shè)備semi- continuous coating plant被鍍物件通過閘門送進鍍膜室并從鍍膜室取出的真空鍍膜設(shè)備。

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