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| 真空鍍膜機維護知識 |
| 發布時間：2014-12-19 瀏覽： 次 |
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第一章 電子槍 1電子槍槍頭罩 電子槍頭罩 須每日清潔一次清潔的目的是清除膜料的殘留物及其他異物資進入槍頭內部而容易導致產生電壓上升,掃描偏移和加快電阻絲的氧化反應以及蒸發膜料時產生氣體而產生靜電現象。 11清潔方法 1分解槍頭罩后進行噴沙方式清潔 2噴沙必須只操作槍頭罩的外部 3槍頭罩的內里面絕對不可以噴沙 如果對內部經常性噴沙處理會導致固定螺絲的磨損使得組裝時不再扣緊，如長時間噴沙處理嚴重影響或損壞螺紋結構導致組裝后出現槍頭的中心與電阻絲的中心部位不吻合。 此因素會導致以下問題 ①電子束掃描偏移或變化 ②電子束閃動現象 ③鍍膜條件變化 ④電子器件的故障等。 12 槍頭分解事項 內容電子槍頭在更換電阻絲時進行清潔。 1電阻絲更換周期如下 例A品電阻絲更換使用時Zro2蒸發時所顯示的電流值為 240A左右 IC/5 中 Zro2的速率設定為6.5 Rate時電阻絲使用較長 Zro2的電流值會上 升到 270~280左右。 電阻絲上有異物資或電阻絲已發生氧化都會產生電流上升現象這時可對電阻絲氧化反應現狀進行直觀確認。 2槍頭清潔方式 ① 對槍頭建議不采用噴沙方式進行清潔。 如確切需要采用噴沙方式清潔可在不分解槍頭的狀態下進行，之后將槍頭分解對表面的殘留物資進行清潔后組裝即可。 ② 進行噴沙清潔時盡可能對槍頭固定部分和螺紋部分避免噴沙對固定部分用細砂紙輕微擦拭。 固定電阻絲部分如果噴沙會有損傷導致緊固電阻絲時不緊密和偏形等結果以上因素會導致以下問題 (.)光斑形狀不規則 (.)光斑定位偏移 (.)會成為數據條件變化的因素。 13 電子槍掃描架 1電子槍角鐵在清潔中必須慎重管理。 電子槍角鐵合金材料物性雖然是強性但通過延續使用過程中因電子槍的高熱而會轉變為軟性所以如遇較強沖擊會導致變形特別注意在噴沙過程中不可仍拋物現象清潔過程中一定要注意。 2如果上述因素而導致角鐵變形 延續產生以下問題光斑不穩/光斑大小調整異常/ 掃描等不穩定狀態。 3有時電子槍的角鐵與基臺之間沒有固定部分前提下組裝 再加上操作者不注意將導致每次的光斑位置不同延伸可導致光斑不移動狀態。 角鐵上部的組裝要比下部更重要 14 電子槍部件 組成部件 1 坩堝盤 2電子槍 角鐵 3掃描線圈接點 4磁力 線圈 5) 冷卻水入口 6坩堝盤旋轉軸 7高壓端子 8坩堝盤旋轉感應器 9旋轉電機 10掃描線圈 第2章 離子源 21 離子源 目前我們使用兩種模式的離子源。 1 霍爾源模式 一般在樹脂光學領域使用霍爾源的比率較多霍爾源的輸射角度寬設定均勻性的操作上表現非常優越但電源電流上升限制在220V所以針對金屬材質等產品的使用時比較弱而無明顯效果。 2 考夫曼模式簡單說明可以理解霍爾離子源主要為輻射角度寬電源壓低相對比考夫曼模式輻射角度小電源壓高調整作業條件時比起霍爾源難度較高但電流電源可上升到800V,對金屬材質的產品等使用適當。 3 各部件 ①電源線固定點 ②電阻絲固定點 ③氣體分配器 . ④冷卻水盤 ⑤磁控立柱 ⑥冷卻水盤固定柱 22 氣體分配器 離子源氣體分配器 1方法約使用 15日左右后更換刻蝕輔助功能同時使用時 2清潔周期清潔周期為 12小時一次 3問題如果氣體分配器不潔凈會影響 離子反應導致影響產品表面膜層的牢固度。 離子反應不到位電弧加深可對產品造成很嚴重的影響 如產生較多異物質中合電流值會上升 中合電流值顯示上升說明氣體分配器的狀態不好 中合電流值應保持在 1以下最好。 4離子源燈絲 基本上電阻絲正常使用 2~3天更換電阻絲時應如下參考值 陽極電源-80陰極電流-29.5, 放射電流-4.8, 陽極電流-4.8 中合電流 00.0 根據電阻絲的種類區別多少會有差距 ★陰極電流值約 (21)~(20)狀態時需要更換電阻絲。 5氣體分配器 ① 氣體分配器的使用壽命月 50小時 ②以眼鏡鍍膜為準可使用 16日~17日后給于更換 ③氬氣 2分30秒氧氣 1分10秒清掃后預熱時間等等。 ④ 離子源清掃每日進行一次。 第 3章 泵 31 增壓泵 1方法確認 oil量。 2周期每周一次 3效果如發現泵油急劇減少現象出現將說明問題存在需要檢驗通過視窗發現泵油里積水或有明顯氣泡需將油全部更換。停止運轉并對電路等進行檢修或從新安裝操作時必須對泵的旋轉方向進行確認無誤后方可啟動運轉請參考旋轉標示。 32 機械泵 1方法確認油量 2周期每天一次 3效果 必須保障油量滿足在上下基準顯示值范圍內 每3個月將油全部排除并作過 濾處理之后回填將不足油量補充油量補 充到油標視窗的 2/3 的高度 使用 6個月后最好將 油全部更換油過濾器--- 如有 微小的移動空隙 就應給于清潔 或更換。 33 擴散泵 擴散泵各部件 1F/V汽缸結合部 2 M/V結合部位 3 擴散泵油注入口 4 擴散泵油排出口 5 擴散泵加熱器安裝位置 D/P 泵 擴散泵管理方法 1對擴散泵每年進行一次全面檢查( 通過定期維護管理延長和維持設備性 能) 2擴散泵規格為 22英寸時兩組擴散泵各注入擴散泵油 4.5升 3擴散泵規格為 24英寸時兩組擴散泵各注入擴散泵油 5.5升 4鍍膜參數變化及沉積異常/真空異常等可以現象時需要將確認擴散泵油量 ※為了確認擴散泵首先將設備關閉再等到擴散泵完全冷卻以后方可允許氣體 注入 如果在正常操作狀態下擴散泵中有空氣進入將導致擴散泵油與空氣結合發生爆炸所以特別實施注意 擴散泵問題確認 1確認油量是否保持定量 . 如果發現油量不足必須補充到規定油量。 2確認擴散泵油的顏色是否透明 .如發現油的顏色變為深色黑應給于更換。 3確認擴散泵油里是否摻雜異物質 .如發現異物質沒有發現顏色變化時僅將異物質給于過濾后再使用即可。 ( 如以上問題狀況需要制定時間表來周期性操作設備檢查維護) 第 4章 冰水機冷卻機 1方法每天一次確認水箱水位 2周期每個月更換一次水 3效果首先將水箱內的水排出更換水進行循環后再次給于更換。 如水質因素導致水管生銹堵塞影響水的循環和壓力會導致擴散泵溫度上升甚至會有返油的現象 再者如影響到電子槍掃描線圈導致光斑不穩定而變化或不移動加上低壓保護裝置而需要隨時確認冷卻水循環壓力在 3K~3.5K為最佳狀態低于2K 會導致問題發生。 第 5章 鍍膜機氣壓調節裝置 此裝置的壓力顯示低時M/V的蓋子及各氣閥的設定壓力值不足而導致返油現象發生。 ※ 目前設備的壓力值應保持在 5.5kg。 第6章 真空室 內部組成說明 1高真空探頭 2低真空探頭 3電子槍 4離子源 5真空室冷凍機管路 6加熱燈管 頂部組成說明 1M/V閥氣缸 2R/V閥汽缸 3L/V閥氣缸 4L/V閥消音器 第 7章 真空確認方法 相關真空的問題發生時主要的確認方法過程是通過真空計顯示畫面的數值 確認和診斷方法 1.如操作時間比往常出現延長狀態時主要確認真空方向 2.將作業時間與正常狀態時間作比較 3.確認真空計顯示的數值是否有反彈現象 4.確認各氣缸動作時的真空狀態是否有泄漏現象 5.確認真空計顯示真空度是否按照一定規律順序變動還是上下有偏差的狀態 變動 對可疑的部位進行丙酮噴灑并及時確認真空計顯示上的變化來確認是否有真空泄漏現象 6.M/V主閥氣缸作為多發生問題部位主閥軸的密封圈與主軸之間的摩擦而導致磨損現象是漏真空的主要原因 7.與真空相關聯的部位結構都有密封圈所以在處理問題時更換密封圈時直接解 決方式 8.與上述第4項內容電子槍與離子源的密封圈也可能作為問題因素導致泄露或冷卻水微漏現象 9.電子槍旋轉裝置的齒輪軸會有泄漏現象有可能發生主要因素是軸承和軸封的老化所致更換即可 10.相對平常作業時間延長2~3分鐘左右可以看作為操作管理的不足而產生的 結果 例如) -- 將真空室門開啟的時間過長 -- 設備內部的濕氣導致的現象 -- 加熱燈管的污染嚴重時 -- 設備內部的污染嚴重時
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